水冷型冷水機

 用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣、氬氣等惰性氣體。進氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的，經過氣體制冷機降至目標低溫。針對于晶圓測試載冷臺的應用來說，氣體制冷機相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢，如使用方便、安全衛(wèi)生、成本低、無異味等?？蛻艨筛鶕?jù)氣體處理流量及溫度來選擇設備。系統(tǒng)主要由制冷系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器、連接管路、保溫等組成。控制系統(tǒng)采用西門子PLC，自適應PID控制算法，面對不同的使用環(huán)境和負載，無需改變參數(shù)，即可實現(xiàn)最佳的溫度控制。高清觸摸屏顯示，完善的安全保護措施，設置有多種安全保護機制以確保系統(tǒng)的安全運行。控制器物聯(lián)網(wǎng)，可在手機APP上進行遠程查看數(shù)據(jù)、報警信息和遠程操控；可選配冷量回收裝置，提升能效，避免低溫冷凝水，通過機組自身的制冷，將進入裝置內的干燥氣體進行降溫及恒溫處理，滿足工藝條件要求。

設備特點

快速降溫：自主設計的高效換熱系統(tǒng)，常溫的干燥壓縮空氣或者氮氣通入到PTLQ氣體制冷機后，出來的氣體即可達到目標低溫溫度。

一體式結構：在工廠已將系統(tǒng)整體組裝完畢，用戶只需要將電源、氣體管路、冷卻水管路安裝完畢即可開機運行。

防爆設計：可根據(jù)客戶實際使用需求，定制各種類型的防爆設計。

高效換熱系統(tǒng)：蒸發(fā)器采用板式換熱器部分產品可能會采用翅片管式換熱器，換熱效率高，結構緊湊，耐壓高，承壓能力大于2.5MPa。

控制重復性：基于高級動態(tài)控制系統(tǒng)，每次都能實現(xiàn)一致的控制結果，大大提升產品生產的穩(wěn)定性。

控溫系統(tǒng)：自主開發(fā)的溫度控制模塊，改變控制設定的方法，能夠盡快的響應過程中系統(tǒng)的滯后，得到最小的溫度過沖?？刂朴蓛山MPID（每組PID是可變的）控制回路構成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設定值。系統(tǒng)采用帶有前饋PV，主控回路的PID運行結果的輸出與前饋PV信號復合后作為主控回路的設定值，通過這樣對溫度變化進行梯度控制，保證系統(tǒng)的溫度精度。

水冷型冷水機